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发明名称 Process for controlling the height of a stud intersecting an interconnect
摘要
申请公布号 EP0929100(A3) 申请公布日期 1999.09.15
申请号 EP19980310217 申请日期 1998.12.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BRONNER, GARY B.;GAMBINO, JEFFREY P.
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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