| 发明名称 |
TREATMENT SYSTEM FOR WORKPIECE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11246970(A) |
申请公布日期 |
1999.09.14 |
| 申请号 |
JP19980277495 |
申请日期 |
1998.09.30 |
| 申请人 |
TRIKON TECHNOL LTD |
发明人 |
JEFFRYES ANDREW I;GREEN GORDON R |
| 分类号 |
C23C14/56;C23C14/58;C23C26/00;H01L21/00;H01L21/324;H01L21/677;H01L21/768;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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