| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING DEGREE OF CONTAMINATION IN SINGLE CRYSTAL PULLING-UP EQUIPMENT AND INSTRUMENT THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11246293(A) |
申请公布日期 |
1999.09.14 |
| 申请号 |
JP19980050780 |
申请日期 |
1998.03.03 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORP |
发明人 |
SASAKI HITOSHI;FURUKAWA JUN |
| 分类号 |
G01N1/28;C30B15/00;(IPC1-7):C30B15/00 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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