| 发明名称 | 用于离子源的磁性过滤器 | ||
| 摘要 | 提供一种用于离子源(26)的磁性过滤器(90)。离子源包括限定等离子体约束室(76)的外壳，其中通过使源材料离子化产生包括离子的等离子体。该外壳包括一般是平面的壁(50),其中形成有可以经其从等离子体提取离子束(84)的多个细长开口(64)。多个细长开口基本上相互平行地定向，并且与位于平面壁内的第一轴(66)基本平行，第一轴与也位于平面壁内的第二轴(68)基本正交。磁性过滤器(90)设置在等离子体约束室(76)内。磁性过滤器把等离子体约束室分隔成第一区(86)和第二区(88)。磁性过滤器包括多个平行的细长磁体(90a－90n)，与第二轴(68)成夹角θ地定向，并且位于通常与一般是平面的壁(50)平行的平面内。 | ||
| 申请公布号 | CN1227881A | 申请公布日期 | 1999.09.08 |
| 申请号 | CN99100435.3 | 申请日期 | 1999.01.28 |
| 申请人 | 易通公司 | 发明人 | A·A·布赖罗维 |
| 分类号 | C23C14/48 | 主分类号 | C23C14/48 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 邹光新;张志醒 |
| 主权项 | 1．一种用于离子源(26)的磁性过滤器(90)，离子源包括限定等离子体约束室(76)的外壳，其中通过使源材料离子化产生包括离子的等离子体，该外壳包括一般是平面的壁(50)，其中形成有可以经其从等离子体提取离子束(84)的多个细长开口(64)，多个细长开口基本上相互平行地定向，并且与位于平面壁内的第一轴(66)基本平行，第一轴与位于平面壁内的第二轴(68)基本正交，所述磁性过滤器包括：设置在等离子体约束室(76)内的至少一个细长磁体(90a)，用于把等离子体约束室分隔成第一区(86)和第二区(88)，所述至少一个磁体按照与所述第二轴(68)成夹角θ地定向，并且位于通常与一般是平面的壁(50)平行的平面内。 | ||
| 地址 | 美国俄亥俄州 | ||