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发明名称 Verschiebungselement, freitragende Probe und Verwendung dieser Probe in einem Informationsverarbeitungsgerät
摘要
申请公布号 DE69323360(T2) 申请公布日期 1999.09.02
申请号 DE1993623360T 申请日期 1993.06.17
申请人 CANON K.K. 发明人 IKEDA, TSUTOMU;YAMAMOTO, KEISUKE;NAKAYAMA, MASARU;YAGI, TAKAYUKI;KAWADA, HARUKI
分类号 G01Q70/08;G01B21/30;G01N27/00;G01Q60/16;G01Q70/06;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01J37/28;H01L29/84;H01L41/09;(IPC1-7):G01N27/00;G01B7/34 主分类号 G01Q70/08
代理机构 代理人
主权项
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