发明名称 FORMING METHOD FOR POLYSILICON LAYER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100217913(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19960022784 申请日期 1996.06.21
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, JIN TAE;PARK, DONG SOO
分类号 H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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