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发明名称 APPARATUS FOR REDUCING POLYMER DEPOSITION ON SUBSTRATE SUPPORT
摘要
申请公布号 EP0938596(A1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 EP19970909912 申请日期 1997.09.30
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 KENNEDY, WILLIAM, S.;WICKER, THOMAS, E.;MARASCHIN, ROBERT, A.;COOK, JOEL, M.;SCHOEPP, ALAN, M.
分类号 H05H1/46;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/00 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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