发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100219835(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19960069421 申请日期 1996.12.21
申请人 KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 KIM, SEONG-IL;PARK, YEONG-KYUN;KIM, RYONG;KIM, EU-KU;MIN, SEOK-KI
分类号 H01S3/0941;(IPC1-7):H01S3/094 主分类号 H01S3/0941
代理机构 代理人
主权项
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