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发明名称 METHOD FOR ARRANGING AND FABRICATING DUMMY PATTERN
摘要
申请公布号 KR100219530(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19970002878 申请日期 1997.01.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 PARK, JAE-KWAN
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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