发明名称 DIE TRANSFERRING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100217285(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19960034163 申请日期 1996.08.19
申请人 KABUSHIKI KAISHA SHINKAWA 发明人 NAKAMURA, OSAMU;ARAI, TSUNEHARU
分类号 H01L21/00;H01L21/50;H01L21/52;H01L21/67;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/50;H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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