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发明名称 ETCHING METHOD OF ALUMINIUM THIN FILM
摘要
申请公布号 KR100216732(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19960016617 申请日期 1996.05.17
申请人 KOREA ELECTRONICS CO., LTD 发明人 LEE, MAN-HYUNG;JANG, DONG-GUN
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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