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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11238817(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980041464 申请日期 1998.02.24
申请人 ROHM CO LTD 发明人 HAYASHIZAKI YUJI
分类号 H01L27/06;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/822 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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