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发明名称
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申请公布号 JP2943221(B2) 申请公布日期 1999.08.30
申请号 JP19900075050 申请日期 1990.03.22
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 MAETA TADASHI
分类号 H01L27/095;H01L21/338;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/812;(IPC1-7):H01L27/095;H01L21/823 主分类号 H01L27/095
代理机构 代理人
主权项
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