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发明名称
摘要
申请公布号 JP2943527(B2) 申请公布日期 1999.08.30
申请号 JP19920254412 申请日期 1992.09.24
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 MIWATARI TADAHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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