| 主权项 |
1.一种监测氮化钛溅镀时发生接地短路之电路,系在积体电路制程中,用以监测该机台之氮化钛溅镀槽室中之护环与晶圆夹持环之间是否发生接地短路,于氮化钛溅镀过程中,晶圆系夹置于一晶圆加热器与一晶圆夹持环之间,于进行该氮化钛之溅镀作业时,包括槽室抽真空、通入气体并待气流稳定、进行氮化钛之溅镀、以及关闭气体等步骤,该电路包括有:第一监测电路,于检测到通入该氮化钛溅镀槽室气体稳定之后,监测该晶圆夹持环是否与护环发生接地短路;第二监测电路,用以监测该氮化钛之溅镀作业时,监测该晶圆夹持环是否与护环发生接地短路;输出信号互联电路,当该第一监测电路或是第二监测电路任一系统监测到有接地短路之问题时,皆送出一信号至输出信号互联电路中,再由该输出信号互联电路送出一机台停止信号,以使该机台停止氮化钛之溅镀作业。2.如申请专利范围第1项所述之监测氮化钛溅镀时发生接地短路之电路,其中该第一监测电路包括有:一接地短路侦测单元,用以侦测该晶圆夹持环与护环之间是否接地短路;第一电驿,于该接地短路侦测单元侦测到接地短路之状况时,受一接地短路侦测点所送来之直流电压激磁而动作;第二电驿,于该氮化钛之溅镀作业中,当通入气体之气流稳定时,一直流电压使第二电驿动作;第一计时电驿,于该第二电驿动作时,该第二电驿之一常开接点闭合,使第一计时电驿开始计时,并于一预设时间内时,该第一计时电驿之一常闭接点是呈导通状态;当反应槽室内发生接地短路时,接地短路侦测电路内之接点和接地点导通,使第一电驿受激磁而动作,该第一电驿之其中一常开接点系连接于互联电路中,以使该输出信号互联电路送出一机台停止信号,以使该机台停止氮化钛之溅镀作业。3.如申请专利范围第2项所述之监测氮化钛溅镀时发生接地短路之电路,其中该接地短路侦测单元中具有一接地短路侦测点,其系连接至该机台之一电荷量测点,该电荷量测点系用以量测该氮化钛溅镀槽室中之电荷聚集量。4.如申请专利范围第2项所述之监测氮化钛溅镀时发生接地短路之电路,其中该第一计时电驿之预设时间是设定为7秒。5.如申请专利范围第1项所述之监测氮化钛溅镀时发生接地短路之电路,其中该第二监测电路包括有:一接地短路侦测电路,接收一接地短路侦测点所送来之信号,用以侦测该晶圆夹持环与护环之间是否接地短路之状况;一气体通入信号侦测电路,用以侦测进行该氮化钛溅镀作业时所需之气体是否通入至槽室内;一反相电路,用以接收该接地短路侦测电路与气体通入信号侦测电路之输出端所送出之信号;一驱动元件,接收该反相电路所送出之信号,以作为驱动信号;一第二计时电驿,在接收到该反相电路所输出之驱动信号时,开始动作;溅镀作业开始时,电浆电源开启,该接地短路侦测电路之输出点有负値直流电压输出,若反应槽室内发生接地短路现象,亦即该接地短路侦测电路之输出点和接地点导通,该输出点便没有负値直流电压之输出,第二计时电驿便开始计时,若超过一预设之时间,该接地短路侦测电路仍然没有该负値直流电压之输出,则连接于输出信号互联电路中之第二计时电驿之一常开接点闭合,使该输出信号互联电路送出一机台停止信号,以使该机台停止氮化钛之溅镀作业。6.如申请专利范围第5项所述之监测氮化钛溅镀时发生接地短路之电路,其中该第二计时电驿之预设时间是设定为10秒。图式简单说明:第一图系显示一习用晶圆反应设备之顶视示意图;第二图系显示在一氮化钛溅镀槽室中,一晶圆置于一晶圆加热器上,且其系位在释放位置时之侧视示意图;第三图系显示在一氮化钛溅镀槽室中,晶圆受到举昇机构之举昇而位在处理位置时之侧视示意图;第四图系显示如第三图之氮化钛溅镀槽室中,溅镀靶、晶圆夹持环、护环、以及相关构件之间关系之立体分解图;第五图系显示第三图中晶圆夹持环、以及护环之部份扩大剖示图;第六图显示本发明之监测系统方块图;第七图显示本发明之第一监测电路之实施例电路图;第八图显示本发明之第二监测电路之实施例电路图;第九图显示本发明之输出信号互联电路之实施例电路图。 |
