发明名称 SURFACE MICRO-MECHANIC ULTRASONIC TRANSDUCER
摘要
申请公布号 EP0935741(A2) 申请公布日期 1999.08.18
申请号 EP19970949856 申请日期 1997.10.28
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ECCARDT, PETER-CHRISTIAN;NIEDERER, KURT;SCHEITER, THOMAS;VOSSIEK, MARTIN;KOELPIN, THOMAS
分类号 G01H11/06;H01L41/09;H04R17/00;H04R31/00;(IPC1-7):G01H11/06 主分类号 G01H11/06
代理机构 代理人
主权项
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