发明名称 TESTING METHOD AND DEVICE FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH11223661(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980027168 申请日期 1998.02.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MORIOKA TADAHARU
分类号 G01R31/02;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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