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发明名称 METHOD OF FORMING OVERLAY PATTERN USED IN MEASURING ALIGNMENT
摘要
申请公布号 KR100215897(B1) 申请公布日期 1999.08.16
申请号 KR19960073486 申请日期 1996.12.27
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KIM, SANG-PYO;KIM, JEONG-WAN
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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