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发明名称
摘要
申请公布号 JP2934601(B2) 申请公布日期 1999.08.16
申请号 JP19960129497 申请日期 1996.05.24
申请人 MITSUBISHI JUKOGYO KK 发明人 GOTO NOBURO;TOYODA ICHIRO;TONEGAWA YUTAKA;ITO TAKEHIKO;IWAMURA YASUHIRO
分类号 B01J3/00;B01J23/02;B01J23/04;B01J23/08;B01J23/20;B01J35/02;C23C14/00;C23C16/00;G01V7/00;G21K1/00;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):B01J3/00 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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