发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE & ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 KR100215524(B1) 申请公布日期 1999.08.16
申请号 KR19960032773 申请日期 1996.08.06
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 FUKASE, TADASHI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/762;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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