发明名称 |
KONTAKTLOSE SCHICHTWIDERSTANDSMESSUNG, METHODE UND APPARAT |
摘要 |
|
申请公布号 |
AT183336(T) |
申请公布日期 |
1999.08.15 |
申请号 |
AT19950480060T |
申请日期 |
1995.05.19 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
VERKUIL, ROGER LEONARD |
分类号 |
G01R27/02;G01R27/26;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01R31/28;G01R31/311 |
主分类号 |
G01R27/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|