| 主权项 |
1.一种受检体试验用辅助装置,包括:在一面具有复 数配线部的基板,及复数之探针,及将该探针并排 地装设于上述基板的装设手段,各探针系具备被弯 曲之变形部,及连续于该变形部之一端部而具有推 压于受检体之电极部之前端的针头部,及连续放上 述变形部之另一端部的针后部,上述装设手段具有 将上述探针之上述变形部之至少一部分接触于上 述基板之配线部来推压上述探针而向上述探针之 排列方向延伸的压针部。2.如申请专利范围第1项 之辅助装置,其中,上述装设手段系具备:装设于上 述基板之一以上之盖体而具有向上述探针之排列 方向延伸之凹所的盖体,及收容于上述凹所之一以 上的压针具,上述凹所系开放于上述基板侧,而上 述压针具系向上述探针之排列方向延伸,又具有上 述压针部者。3.如申请专利范围第2项之辅助装置, 其中,上述压针部系抵接于上述探针之至少上述变 形部的内侧部分者。4.如申请专利范围第3项之辅 助装置,其中,上述压针部系具有圆柱状之形状,又 至少外周部系作为电气绝缘性者。5.如申请专利 范围第3项之辅助装置,其中,上述压针部系具有:圆 柱状之压棒,及以电气绝缘性之材料形成于上述压 针棒之周围的弹性材料层。6.如申请专利范围第2 项之辅助装置,其中,上述凹所系具有弧状或矩形 之剖面形状,并且,至少开放于上述基板侧者。7.如 申请专利范围第2项之辅助装置,其中,上述盖体系 又具有收容受检体之开口,并且,分别具有收容上 述压针具之复数的上述凹所者。8.如申请专利范 围第2项之辅助装置,其中,上述压针具系又将上述 探针之针后部向上述凹所推压之内面者。9.如申 请专利范围第1项之辅助装置,其中,上述探针系整 体上弯曲成弧状者。10.如申请专利范围第1项之辅 助装置,其中,上述探针系整体上弯曲成U字形状者 。11.如申请专利范围第7项之辅助装置,其中,各探 针系将其针头部突出于上述开口者。12.如申请专 利范围第1项之辅助装置,其中,各探针之针后部系 以非导电性材料所形成者。13.如申请专利范围第1 项之辅助装置,其中,各探针系由导电性材料所形 成,并且,在上述针后部之外周具有非导电性材料 之层者。14.如申请专利范围第1项之辅助装置,其 中,各探针系由非导电性材料所形成,并且,在上述 针头部及上述变形部之外周具有导电性材料之层 者。15.如申请专利范围第1项之辅助装置,其中,将2 个以上之探针的针后部以非导电性材料一体地形 成者。16.如申请专利范围第2项之辅助装置,其中, 将2个以上之探针的针后部以非导电性材料一体地 形成,并且,收容于上述凹所者。17.如申请专利范 围第1项之辅助装置,其中,上述装设手段系具备装 设于上述基板之一个以上的盖体,及具有上述压针 部之一个以上的压针具,上述盖体系具有向上述探 针之排列方向延伸且开口于上述基板侧的第1凹所 ,及连通于该第1凹所的开缝,及向上述探针之排列 方向延伸且开口于上述第1凹所侧的第2凹所,上述 探针系在从上述开缝突出针头之状态下并排配置 于上述第1凹所,上述压针具系至少收容于上述第2 凹所者。18.如申请专利范围第1项之辅助装置,其 中,各探针系在针头侧具有抵接于邻接之探针的间 隔件者。图式简单说明: 第一图系表示本发明之试验用辅助装置之第1实施 例的平面图。 第二图系表示沿着第一图之2-2线的剖面图。 第三图系表示拆除表示于第一图之试验用辅助装 置之基板之状态之一部分的底面图。 第四图系表示沿着第一图之4-4线的剖面图。 第五图系表示用以说明将受检体配置于辅助装置 时之探针之状态的剖面图。 第六图系表示用以说明将受检体向探针推压时之 探针之状态的剖面图。 第七图系表示在表示于第一图之辅助装置所用之 探针之第1实施例的图式,(A)系表示正面图,(B)系表 示左侧面图。 第八图系表示在表示于第一图之辅助装置所用之 探针之第2实施例的图式,(A)系表示正面图,(B)系表 示左侧面图。 第九图系表示试验用辅助装置之第2实施例之一部 分的剖面图。 第十图系表示试验用辅助装置之第3实施例之一部 分的剖面图。 第十一图系表示在表示于第一图之辅助装置所用 之探针之第3实施例之一部分的图式。 第十二图a系表示试验用辅助装置之第4实施例之 一部份的剖面图。 第十三图系表示试验用辅助装置之第5实施例之一 部份的剖面图。 第十四图系表示在表示于第十三图之辅助装置所 用之探针之一实施例的图式,(A)系表示平面图,(B) 系表示正面图,(C)系表示右侧面图。 第十五图系表示在表示于第十三图之辅助装置所 用之探针之另一实施例的图式,(A)系表示平面图,(B )系表示正面图,(C)系表示右侧面图。 第十六图系表示试验用辅助装置之第6实施例之一 部分的剖面图。 第十七图系表示在表示于第十六图之辅助装置所 用之探针之一实施例的图式,(A)系表示平面图,(B) 系表示正面图,(C)系表示右侧面图。 第十八图系表示在表示于第十六图之辅助装置所 用之探针之另一实施例的图式,(A)系表示平面图,(B )系表示正面图,(C)系表示右侧面图。 第十九图系表示试验用辅助装置之第7实施例之一 部分的剖面图。 |
