液体供给装置

摘要

本发明涉及液体供给装置，由液体的吸入孔、排出孔、在转子及容纳该转子的固定部件间形成的液体输送部、与转子连接的轴、使该轴与所述固定部件间作相对旋转运动的旋转促动器、作为其驱动电源的旋转运动控制部、使旋转部件与固定部件间作相对摆动运动的摆动促动器、及作为其驱动电源的摆动运动控制部构成，本发明可用简单的构造实现供给流量的超高精度化、超微流量化。具有无波动的连续流量特性及与环境条件无关的稳定流量特性。

主权项

1．一种液体供给装置，具有液体的吸入孔和排出孔、在转子及容纳该转子的固定部件之间形成的液体输送部、与所述转子连接的轴，其特征在于，还具有使该轴与所述固定部件之间作相对旋转运动的旋转促动器、作为其驱动电源的旋转运动控制部、使所述轴与所述固定部件之间作相对摆动运动的摆动促动器、及作为其驱动电源的摆动运动控制部，且能对旋转运动和摆动运动进行同步控制。