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发明名称
Doping silicon hemispherical grains
摘要
申请公布号
GB2334146(A)
申请公布日期
1999.08.11
申请号
GB19990002408
申请日期
1999.02.03
申请人
* NEC CORPORATION
发明人
ICHIRO * HONMA
分类号
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/321;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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