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发明名称
摘要
申请公布号 JP2932940(B2) 申请公布日期 1999.08.09
申请号 JP19940126115 申请日期 1994.06.08
申请人 DENSOO KK 发明人 OOKAWA MAKOTO;IIDA MAKIO;SUZUKI MIKIMASA
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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