| 发明名称 |
PLASMA OPTICAL SPECTROPHOTOMETER AND DRY ETCHING FINAL POINT DETECTION DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11214360(A) |
申请公布日期 |
1999.08.06 |
| 申请号 |
JP19980010957 |
申请日期 |
1998.01.23 |
| 申请人 |
OMRON CORP |
发明人 |
KIYOMOTO HIRONOBU;KUROKAWA MASAHIRO |
| 分类号 |
G01J3/443;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
G01J3/443 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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