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发明名称
DEVICE AND METHOD FOR MEASURING LINE WIDTH
摘要
申请公布号
JPH11211421(A)
申请公布日期
1999.08.06
申请号
JP19980030600
申请日期
1998.01.27
申请人
NIKON CORP
发明人
ITO YOSHINOBU
分类号
G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/02
主分类号
G01B11/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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