| 发明名称 |
ACCELERATION DETECTOR AND ITS MANUFACTURE AS WELL AS FILM THICKNESS CALCULATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11214705(A) |
申请公布日期 |
1999.08.06 |
| 申请号 |
JP19980196498 |
申请日期 |
1998.06.29 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
YONEYAMA JUICHI;YAGI TAKESHI |
| 分类号 |
G01P15/12;G01B21/08;H01L21/66;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01P15/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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