| 发明名称 |
OPTICAL DEVICE, PROJECTING AND EXPOSING DEVICE AND DEVICE PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11211958(A) |
申请公布日期 |
1999.08.06 |
| 申请号 |
JP19980016865 |
申请日期 |
1998.01.29 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SUDO YUJI;EBINUMA RYUICHI;KOSUGI MASAO |
| 分类号 |
G02B7/00;G02B7/02;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B7/02 |
主分类号 |
G02B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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