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发明名称 VORRICHTUNG ZUM MATERIALBESCHICHTEN GROSSFLÄCHIGER SUBSTRATE
摘要
申请公布号 DE69603079(D1) 申请公布日期 1999.08.05
申请号 DE19966003079 申请日期 1996.04.23
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS, FR 发明人 IDA, MICHEL, F-38340 VOREPPE, FR;PERRIN, AIME, F-38330 SAINT-ISMIER, FR;BOREL, MICHEL, F-38660 LE TOUVET, FR;CHARLES, RAYMOND, F-38430 SAINT-JEAN-DE-MOIRANS, FR
分类号 C23C14/24;C23C14/50;H01J9/02;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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