| 发明名称 |
MASCHERA LITOGRAFICA PER DISPOSITIVI A SEMICONDUTTORE CON FINESTRA DI SCAVO A SEZIONE POLIGONALE IN PARTICOLARE AVENTE UNA SEZIONE DI ALMENO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITMI991768(D0) |
申请公布日期 |
1999.08.05 |
| 申请号 |
IT1999MI01768 |
申请日期 |
1999.08.05 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
ROMEO CARMELO;CANESTRARI PAOLO;FIORINO ANTONIO |
| 分类号 |
G03F;G03F1/00;G03F7/20;G03F9/00 |
主分类号 |
G03F |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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