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发明名称 COMPOSITION AND METHOD FOR POLISHING A COMPOSITE COMPRISING TITANIUM
摘要
申请公布号 EP0931118(A1) 申请公布日期 1999.07.28
申请号 EP19980933192 申请日期 1998.07.07
申请人 RODEL HOLDINGS INC. 发明人 WANG, HUEY, MING;WU, GUANGWEI;COOK, LEE, MELBOURNE
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/321;(IPC1-7):C09K13/00;C09K13/02 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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