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发明名称 Integriert optischer Hybridbaustein mit zweischichtigem Substrat
摘要
申请公布号 DE69419086(D1) 申请公布日期 1999.07.22
申请号 DE19946019086 申请日期 1994.07.19
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TABUCHI, HARUHIKO, C/O FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP
分类号 H01L21/02;G02B6/36;G02B6/42;H01L27/15;H01L31/0232;H01L31/12;H01L33/44;H01L33/58;H01L33/60;H01L33/62;H01S5/00;H01S5/026;(IPC1-7):G02B6/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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