发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11195712(A) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 JP19980236135 申请日期 1998.08.21
申请人 DENSO CORP 发明人 YAMAGUCHI HITOSHI;MORISHITA TOSHIYUKI;YAMAMOTO TOSHIMASA
分类号 H01L21/02;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/8234;H01L21/84;H01L27/088;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/40;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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