| 发明名称 |
SYSTEM AND METHOD FOR ACCURATELY DEPOSITING PARTICLES ON A SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100209453(B1) |
申请公布日期 |
1999.07.15 |
| 申请号 |
KR19930073327 |
申请日期 |
1993.11.03 |
| 申请人 |
VLSI STANDARDS INC. |
发明人 |
SCHEER, BRADLEY W.;KONICEK, PAUL A. |
| 分类号 |
B05D1/12;(IPC1-7):B05D1/12 |
主分类号 |
B05D1/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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