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发明名称 CASSETTE MANUFACTURE & COGNITION METHOD FOR SEMICONDUCTOR ADMINISTRATION
摘要
申请公布号 KR100207446(B1) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 KR19950020066 申请日期 1995.07.08
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 AHN, JUNG-SAM;IM, YONG-IL
分类号 B65D85/86;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
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