| 发明名称 |
EXPOSURE METHOD AND EXPOSURE APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR100210569(B1) |
申请公布日期 |
1999.07.15 |
| 申请号 |
KR19960042416 |
申请日期 |
1996.09.25 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TAKAHASHI, KAZUHIRO;SAOZAWA, TAKAHASA |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
