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发明名称 VORRICHTUNG MIT MINIATURISIERTEM PHOTOIONISCHEM KOPF
摘要
申请公布号 DE69601304(T2) 申请公布日期 1999.07.15
申请号 DE19966001304T 申请日期 1996.03.20
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS, FR 发明人 ELOY, JEAN-FRANCOIS, ALBERT, F-33170 GRADIGNAN, FR
分类号 C23C14/04;C23C14/28;C23C14/32;C23C24/10;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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