| 发明名称 |
Exposure apparatus of reduced projection scanning type |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0825491(A3) |
申请公布日期 |
1999.07.14 |
| 申请号 |
EP19970114193 |
申请日期 |
1997.08.18 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
TAKAHASHI, TOMOWAKI;ICHIHARA, YUTAKA |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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