发明名称 | 有改善的柔性、粘合性和剥膜性的可光成像组合物 | ||
摘要 | 一种用作感光抗蚀剂的负片型可光成像组合物,它包含酸官能粘合剂、可光聚合的组分、包含9-苯基吖啶或其同系物的光引发剂化学体系和二苯甲酸酯增塑剂。 | ||
申请公布号 | CN1222689A | 申请公布日期 | 1999.07.14 |
申请号 | CN98123053.9 | 申请日期 | 1998.12.01 |
申请人 | 日合-莫顿株式会社 | 发明人 | D·E·伦迪;R·巴尔 |
分类号 | G03F7/004 | 主分类号 | G03F7/004 |
代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 陈文青 |
主权项 | 1.一种负片型可光成像组合物,包括A)以A)、B)和C)的总重量计30-80%重量的粘合剂聚合物,该粘合剂聚合物有足够的酸官能团来使所述可光成像组合物在碱性水溶液中显影,B)以A)、B)和C)的总重量计19-69%重量的可加成聚合的非气态烯键不饱和化合物,该化合物可通过自由基引发的链增长加成聚合反应来形成高聚物。C)光引发剂化学体系,它含有以A)、B)和C)的总重量计为0.05-2%重量的9-苯基吖啶或其同系物,和D)根据A)、B)和C)的总重量算出的1-8%重量的二苯甲酸酯增塑剂。 | ||
地址 | 日本东京 |