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发明名称 WAFER HOLDER FOR SEMICONDUCTOR DRY TYPE ENGRAVING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11186370(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19980156467 申请日期 1998.06.04
申请人 SAMSUNG ELECTRON CO LTD 发明人 KYO SOKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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