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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11186562(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19970365124 申请日期 1997.12.18
申请人 TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC 发明人 KAWAJI SACHIKO;MURATA TOSHIO;KIGAMI MASAHITO;UESUGI TSUTOMU
分类号 H01L21/336;H01L27/04;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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