| 发明名称 |
OPTICAL MEASUREMENT APPARATUS AND OPTICAL MEASUREMENT METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11183147(A) |
申请公布日期 |
1999.07.09 |
| 申请号 |
JP19970350802 |
申请日期 |
1997.12.19 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HORIE MASAHIRO |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/26;(IPC1-7):G01B11/26 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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