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发明名称 DUAL DAMASCENE TECHNIQUE
摘要
申请公布号 JPH11186274(A) 申请公布日期 1999.07.09
申请号 JP19980135315 申请日期 1998.05.18
申请人 UNITED MICROELECTRON CORP;UNITED MICROELECTRON CORP 发明人 YO BUNKAN;RIN KENTEI;CHIN SHINRAI;KO KOSEI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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