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发明名称 ELECTRIC CHARGE BEAM EXPOSURE SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH11176737(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970356374 申请日期 1997.12.10
申请人 NIKON CORP 发明人 SUZUKI SHOHEI
分类号 H01L21/027;H01J37/153;H01J37/317;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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