发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT CONDUCTOR AND METHOD OF CREATING CONDUCTOR THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11176832(A) |
申请公布日期 |
1999.07.02 |
申请号 |
JP19980272723 |
申请日期 |
1998.09.28 |
申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
AKATSU HIROYUKI;RUSSELL H ARNDT;BRADLEY P JONES;GEORGE F OUIMET |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01P3/06;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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