发明名称 INTEGRATED CIRCUIT CONDUCTOR AND METHOD OF CREATING CONDUCTOR THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11176832(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19980272723 申请日期 1998.09.28
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 AKATSU HIROYUKI;RUSSELL H ARNDT;BRADLEY P JONES;GEORGE F OUIMET
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01P3/06;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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