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经营范围
发明名称
ELECTRON REAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11176720(A)
申请公布日期
1999.07.02
申请号
JP19970356376
申请日期
1997.12.10
申请人
NIKON CORP
发明人
SUZUKI SHOHEI
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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