发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11177080(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970362055 申请日期 1997.12.11
申请人 RICOH CO LTD 发明人 YONEDA YUTAKA
分类号 H01L21/306;H01L21/027;H01L21/316;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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