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发明名称 SLURRY CONTAINING MANGANESE OXIDE AND A FABRICATION PROCESS OF A SEMICONDUCTOR DEVICE USING SUCH A SLURRY BOARD
摘要
申请公布号 KR100206663(B1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 KR19960027066 申请日期 1996.07.04
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 KISIH, SADAHIRO;HATADA, AKIYOSI;SUZUKI, RINTARO;HORIE, HIROSI;ARIMOTO, YOSIHIRO;NAKAMURA, COH
分类号 C09G1/02;C09K3/14;H01L21/3105;H01L21/463;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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