发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR100206026(B1) |
申请公布日期 |
1999.07.01 |
申请号 |
KR19950002216 |
申请日期 |
1995.02.08 |
申请人 |
SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
MURAMATSU, SHIGEJI |
分类号 |
H01L21/60;G01R31/28;H01L21/56;H01L23/28;H01L23/31;H01L23/498;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/60 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|